差动电容式加速度传感器

    差动电容式加速度传感器结构示意图如图2. 27所示。质量块4由两根簧片3支撑于充满空气的壳体2内。当测量垂直方向上的直线加速度时，传感器壳体固定在被测振动体上，振动体的振动使壳体相对质量块运动，因而与壳体2固定在一起的两固定极板1、5相对于质量块4运动，使上固定极板5与质量块4的A面（磨平抛光）组成的电容Cx1值及下固定极板1与质量块4的B面（磨平抛光）组成的电容Cx2值改变，一个增大，一个减小，它们的差值正比于被测加速度~由于采用空气阻尼，气体黏度的温度系数比液体小得多，因此这种加速度传感器的精度较高，频率响应范围宽，量程大，可以测很高的加速度值。

 

图2. 27  差动电容式加速度传感器结构示意图

    1、5-固定极板；2-壳体；3-簧片；

   4-质量块；6-绝缘体