电感式位移传感器

    电感式位移传感器是把被测位移量转换成线圈的自感或互感的变化，从而实现位移测量的一类传感器。根据其转换原理，可分为自感式、差动式自感、互感型差动变压器式、电涡流式四种。根据其结构，可分为气隙型、面积型和螺管型。

    这种传感器的特点是：灵敏度高、分辨力大，能测出0.1 μm甚至更小的线性位移变化和0.1。的角位移，输出信号比较大，电压灵敏度一般每毫米可达数百毫伏，输出特性的线性度较好，且比较稳定。因此有利于信号的传输，能实现远距离传输、记录、显示和控制。

    测量范围一般为±25 μm至50 mm，测量精度与电容式位移传感器差不多，但是，它的频率响应低，不宜于高频动态测量。